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華海清科“晶圓干燥裝置和晶圓干燥方法”專利公布

發表于:2025-02-06 來源:半導體產業網 編輯:

?天眼查顯示,華海清科(北京)科技有限公司“晶圓干燥裝置和晶圓干燥方法”專利公布,申請公布日為2024年11月13日,申請公布號為CN119133038A。

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本發明公開了一種晶圓干燥裝置和晶圓干燥方法。該晶圓干燥裝置包括:卡盤;支撐件,設置于卡盤上,用于支撐晶圓;旋轉機構,連接于所述卡盤,用于驅動卡盤旋轉;液體回收機構,呈環狀布置于所述卡盤的徑向外側,用于承接晶圓旋轉向外甩出的液體;在所述卡盤的上表面邊緣的部位沿周向設置有凹陷部,所述凹陷部的最低點到卡盤上表面邊緣之間平滑過渡。晶圓干燥方法通過所述晶圓干燥裝置實現。采用上述技術方案,本發明的晶圓干燥裝置和晶圓干燥方法,優化了液體的排出路徑,確保液滴迅速進入液體回收機構,提高干燥效果和液體回收效率。

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